技术与服务

Technology and Services
  • 新型中频圆柱旋转阴极
  • 新型加热式气动高真空挡板阀
  • 恒张力恒速度卷绕控制系统
  • 线性离子源
  • 二进制多段布气技术
  • 倾斜式箱体设计
  • 新型插板阀
  • 信息化自动处理
  • 气体控制系统
  • 模块化设计
  • 研发团队
新型中频圆柱旋转阴极

公司自行研发设计、加工的新型中频圆柱旋转阴极,提高靶材利用率,降低生产成本。

新型加热式气动高真空挡板阀

有效防止挡板阀外表面出现冷凝水现象,提高设备的可靠性并延长使用寿命,使设备安全运行。

恒张力恒速度卷绕控制系统

与传统的速度张力控制相比结构简单,控制方便,后期维护成本的减少,运行可靠性能稳定。

线性离子源

可对镀膜前的基材进行预清洗,提高成膜附着力,工作模式包括聚焦模式和散焦模式。

二进制多段布气技术

确保工艺氛围均匀性。

倾斜式箱体设计

倾斜式箱体设计实现了基片在装卸过程中无夹具印,解决了大型超薄基片装夹过程中的扭曲问题。

新型插板阀

无水电引入系统的新型插板阀,减少故障发生率,提高生产效率。

信息化自动处理

从工厂现场自动化设备中采集实时运行状态、运行参数、加工信息和质量信息,并传输到监控终端分解成用户所需要的报表、图表和可视化界面形式显示,使生产管理人员能及时监控生产设备的运行状况和能力,合理安排生产及时调度,保障生产设备处于最佳状态,生产顺利、有序、高产、低耗进行。

气体控制系统

通过等离子体发射光谱监测来控制气体流量和电压,控制优化反应溅射的状态,从而获得最佳的沉积速率与膜层质量。

模块化设计

可灵活改变工艺配置,适应各种镀膜要求。

研发团队

我司高、中级以上专业技术职称人员80余人,聘请了国内真空行业资深专家、教授和高级工程师,专门指导和负责公司新产品的研发与设计,包括制造工艺和应用技术、控制软件、工艺流程控制软件及相关生产自动化软件,获得行业内一致认可,取得发明、外观设计、实用新型专利60多项,版权著作权6项。

我司拥有62人专职的研发团队,其中副高级以上职称及硕士以上学历人数11人,每年产值5%的研发投入,成立广东省真空镀膜应用工程技术研究中心,获得科技型技术创新基金立项证书、东莞市科学技术进步奖二等奖、国家高新技术企业证书、广东省民营科技企业证书、东莞市十大创新企业称号。

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